Напівпровідникові деталі з ЧПУ
Виготовляємо на замовленнянапівпровідникові деталі з ЧПУз креслень клієнтів і файлів САПР, в т.чкомпоненти вакуумної камери, газорозподільні пластини та фітинги, деталі для обробки та затиску пластин, компоненти насоса та клапана, деталі ВЧ, охолоджувальні пластини, радіатори та компоненти технологічного комплекту. Наші можливості токарної обробки з ЧПК, фрезерування, 5-осьової обробки, швейцарського ЧПК і токарних-млинів підтримують компоненти з жорсткими допусками для травлення, осадження, літографії, іонної імплантації, CMP та метрологічного обладнання.
Деталі напівпровідникового обладнання живуть в іншому світі, ніж звичайні промислові деталі: вони повинні вижитивимоги до вакууму, корозійних технологічних газів, плазми, зміни температури та-контролю частинок. Тому вибір матеріалу є першим рішенням у будь-якому проекті обробки напівпровідників. Ми обробляємо точні оцінки -316L VIM-VAR і нержавіюча сталь 316L, алюміній 6061-T6 і 7075-T6, титан класу 5, молібден TZM, OFHC мідь C10100, нікелеві сплави та конструкційні пластики PEEK/PTFE- і застосовуйте оздоблення, сумісні з чистими кімнатами-, де цього вимагає застосування. Деталі виготовляються відповідно до визначених розмірів, допусків, матеріалів і вимог до обробки, а сертифікати на матеріали доступні за запитом.
Від окремих прототипів для розробки нового інструменту до повторних виробничих циклів для запасних технологічних комплектів, ми обробляємо напівпровідникові компоненти до креслення - незалежно від кількості.
Оброблені з ЧПУ деталі для напівпровідників
Обладнання для травлення та осадження
Корпус камери · вкладиші камери · газорозподільні пластини · електродні вузли · фокусні кільця · затискні кільця · монтажні частини душової лійки
матеріали:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Титан класу 5
Вакуумні системи та доставка газу
Вакуумні фланці (CF/KF/ISO) · Компоненти засувки · Фітинги газопроводу · Лицеві ущільнення типу VCR- · Блоки колекторів · Деталі для кріплення насоса
матеріали:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Обробка та транспортування вафель
Руки робота · кінцеві ефектори · пластинчасті затискачі · краєві ручки · компоненти касети · частини елеватора та вилки · кінематичні кріплення
матеріали:6061-T6 · 7075-T6 · · Берилієва мідь C17200 · Титан 5 класу
Іонна імплантація та частини пучка
Компоненти лінії променя · електроди · отвори · частини придушення та відводу · високо{0}}температурні екрани
матеріали:TZM молібден · Вольфрам W · Ta-2,5W тантал
Компоненти радіочастотного та плазмового живлення
ВЧ-роз’єми · прохідні корпуси · електродотримачі · екрануючі частини · контактні пружини
матеріали:C10100 OFHC мідь · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Термоуправління та CMP
Охолоджуючі пластини · компоненти чиллера · радіатори · головки CMP · стопорні кільця · компоненти плити
матеріали:C10100 OFHC мідь · 6061-T6 · 316L
Метрологічне та інспекційне обладнання
Оптичні кріплення · компоненти сцени · опорні пластини · пристосування для вирівнювання · кінематичні монтажні частини
матеріали:6061-T6 · 7075-T6 · Титан 5 класу
Обладнання для вологої обробки та очищення
Компоненти бака та ванни · розпилювачі · тримачі насадок · деталі валика та щітки · хімічно-стійкі фітинги
матеріали:316L · Hastelloy C-276 · Титан 2 класу
Напівпровідникові деталі з ЧПК, які ми виробляємо
Компоненти вакуумної камери
Корпуси камер, кришки, вкладиші та монтажні кільця з контрольованою площинністю, ущільнювальними поверхнями та низькими вимогами до виділення газів.
матеріали:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Вакуумні фланці та фітинги
Фланці CF (ConFlat), KF та ISO, ніпелі, перехідники та фітинги газопроводів для надвисокого навантаження.
матеріали:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Газорозподільні пластини та сопла
Точні-свердлені розподільні пластини, форсунки інжекторів і кріплення душової лійки.
матеріали:6061-T6 · Титан 5 класу · 316L
Вафельні затискачі, кільця та ручки
Кільця фокусування, затискні кільця, краєві ручки та пластинчасті напрямні з жорстким контролем площинності та розмірів.
матеріали:6061-T6 · C17200 · Титан 5 класу
Руки роботів і кінцеві ефектори
Вафельні передавальні важелі, вилки та кінцеві ефектори зі збалансованою вагою, жорсткістю та контролем часток.
матеріали: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Компоненти насоса та клапана
Корпуси, ротори, лопатки, тарельчасті тарелі, сидіння та частини штока для сухих насосів, засувки та апаратне-регулювання масового потоку.
матеріали:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Технологічний набір і витратні частини
Змінні деталі комплекту, розроблені для повторних замовлень із стабільними допусками та чистотою.
матеріали:6061-T6 · Титан класу 5 · 316L VIM-VAR
Охолоджувальні пластини та радіатори
Водяні{0}}пластини, радіатори та частини холодильних машин із плоскою-критичною поверхнею.
матеріали:C10100 OFHC мідь · 6061-T6 · 316L
ВЧ і контактні компоненти
Радіочастотні корпуси, частини роз’ємів, контактні пружини та компоненти, що екранують EMI.
матеріали: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Маєте спеціальну напівпровідникову частину? Надішліть свій файл CAD
Процеси обробки напівпровідникових деталей з ЧПУ
Токарна обробка з ЧПУ
Найкраще для:Фітинги · ніпелі · штоки клапанів · ротори насосів · форсунки
Ідеально підходить для циліндричних компонентів з жорсткою концентричністю.
Фрезерування з ЧПУ
Найкраще для:Корпуси камер · опорні плити · колектори · кронштейни
Підходить для плоских, призматичних і багато{0}}компонентів.
5-осьова обробка з ЧПУ
Найкраще для:Кінцеві ефектори · складні корпуси · радіочастотні компоненти
Обробляє складні геометрії та складені кути в одній установці.
Токарно-фрезерна-фрезерна робота з ЧПУ
Найкраще для:Фітинги для газопроводів · з’єднувальні частини з фрезерованими елементами
Комбінує токарну та фрезерну роботу для складних деталей, що обертаються.
Швейцарська обробка з ЧПУ
Найкраще для:Малі фітинги · компоненти датчика · прецизійні штифти
Розроблено для малих, тонких і-великих точних компонентів.
Шліфування та хонінгування з ЧПУ
Найкраще для:Ущільнювальні поверхні · гнізда підшипників · прецизійні отвори
Використовується для критичних діаметрів, посадок і дзеркального покриття (досяжний Ra 0,1–0,4 мкм).
Напівпровідникові матеріали для обробки з ЧПУ
Для напівпровідникових компонентів вибір матеріалу залежить відвакуумна сумісність, хімічний процес, опір плазмі, температура, магнетизм, генерація частинок і терморегулювання. Ми обробляємо низку металевих та інженерних пластикових матеріалів для камер, газових систем, обробки пластин, радіочастотних і теплових частин.
| матеріал | Загальні оцінки | Типові застосування напівпровідників | Ключові переваги |
|---|---|---|---|
| Алюміній | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Корпуси камер, опорні плити, руки роботів, радіатори, кронштейни | Легкий, анодований, має хорошу теплопровідність; 6061-T6 є робочою конячкою для камерного обладнання |
| Нержавіюча сталь | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Вакуумні фланці, газові фітинги, деталі клапанів, високо-міцне обладнання | Корозійна і температурна стійкість; 316L VIM-VAR є стандартом для послуг з низьким{2}}викидом UHV |
| Титан | Ступінь 2 (CP) · Ступінь 5 (Ti-6Al-4V) | Частини газорозподілу, технологічні комплекти, обладнання для мокрої обробки | Плазмова та хімічна стійкість, висока міцність-від-ваги, не-магнітний |
| Мідь | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 Берилієва мідь | ВЧ-частини, охолоджуючі пластини, контактні пружини, електричне обладнання | Відмінна електро- і теплопровідність; OFHC ідеально підходить для керування радіочастотами та теплом |
| Нікелеві сплави | Інконель 718 · Хастеллой С-276 · Інвар 36 | Хімічні-стійкі фітинги, високо{1}}температурні частини, метрологічні конструкції | Хімічна і температурна стійкість; Invar 36 забезпечує-нульове теплове розширення |
Чому 316L VIM-VAR?Ми обробляємо компоненти з над-високим{1}}вакуумом (UHV).316L VIM-VAR- подвійна-плавлена нержавіюча сталь з дуже низьким вмістом газу та включеннями. Він менше виділяє газів, зварює більш передбачувано та залишається чистим у вакуумі. Якщо на вашому кресленні вказано VIM-VAR або електрополірований 316L, ми можемо надати матеріал із повною сертифікацією.
Вибір матеріалів для вакуумних і чистих приміщень
Сумісність із вакуумом і дегазація
Матеріали всередині камери не повинні виділяти гази чи затримувати частинки. 316L VIM-VAR, 6061-T6 є звичайним вибором; пористість і обробка поверхні контролюються для підтримки низького рівня виділення газів.
Хімічна та плазмова стійкість
Галоген і фторовані технологічні гази руйнують багато металів. Молібден TZM, Ta-2,5W, Hastelloy C-276, титан класу 5 обрано для корозійної хімії та впливу плазми.
Контроль часток і забруднення
Зношення, краї та сміття утворюють частки, які вбивають врожайність. Ми знімаємо задирки з кожного краю, контролюємо шорсткість поверхні та очищаємо деталі до стандартів чистих приміщень перед пакуванням.
Тепловий менеджмент
Тепло впливає на однорідність процесу. Мідь C10100 OFHC і 6061-T6 використовуються для охолодження пластин і радіаторів; TZM і вольфрам обробляють високотемпературні промені та частини камери.
Магнітні та електричні властивості
Для деяких процесів потрібні не-магнітні матеріали, як-от титан 316L, клас 5; В радіочастотному та заземлювальному обладнанні використовується мідь OFHC C10100 і берилієва мідь C17200.
Точність і стабільність
Метрологічні та літографічні деталі потребують стабільності розмірів: алюміній 6061-T6 і 7075-T6, титан Grade 5 утримує геометрію при зміні температури.
Допуски та специфікації для обробки напівпровідників з ЧПУ
Напівпровідникові компоненти часто вимагають мікрон{0}}рівня точності ущільнювальних поверхонь, монтажних опор, поверхонь-контакту пластин і точних отворів, тому інструменти збираються правильно, а процеси залишаються повторюваними.
| Специфікація | Типова здатність | Типові застосування напівпровідників |
|---|---|---|
| Лінійні розміри | ±0,01 мм (точність до ±0,005 мм) | Частини камери, опорні плити, колектори |
| Діаметр отвору та валу | ±0,005–0,01 мм | Ротори насосів, штоки клапанів, прецизійні фітинги |
| площинність | До 0,01 мм/100 мм | Ущільнювальні торці, пластини охолодження, кінематичні опори |
| Концентричність / Биття | До 0,01 мм | Роторні деталі насосів, муфти |
| Справжня позиція | ±0,01 мм | Схема отворів- під болти, газорозподільні отвори |
| Шорсткість поверхні | Ra 0,2–0,8 мкм стандарт; Ra 0,1–0,4 мкм за запитом | Ущільнювальні поверхні, поверхні-контакту пластин, внутрішні камери |
| Зняття задирок | Контроль за малюнком (доступно мікро-зняття задирок) | Усі частки,-критичні |
| Допуск на нитку | Відповідно до вимог ISO / ASME | Фітинги, фланці, кріплення |
Критичні функції, які ми контролюємо
Ущільнювальні та-кільцеві канавки- контрольована глибина, ширина та обробка поверхні для вакуумних і рідинних ущільнень.
Вафельні-контактні поверхні- контроль площинності та шорсткості, щоб уникнути пошкодження пластини та утворення часток.
Точні отвори та посадки- точні отвори для підшипників, валів і компонентів-підгонки.
Газорозподільні отвори- точний розмір отвору, положення та видалення задирок для рівномірного потоку газу.
Дату та особливості монтажу- узгоджених опорних точок для повторного складання та вирівнювання.
Оздоблення поверхні напівпровідникових деталей з ЧПК
Оздоблення поверхні є частиною стратегії забруднення та корозії в напівпровідниковому обладнанні. Правильне покриття контролює частинки, виділення газів, хімічну стійкість і електричну поведінку.
| Оздоблення поверхні | Застосовні матеріали | Типові напівпровідникові частини | Основна вигода |
|---|---|---|---|
| Електрополірування | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Вакуумні фланці, газопроводи, камерні вкладиші | Видаляє поверхневий матеріал і включення; зменшує виділення газів і уловлювання частинок |
| Пасивація | 316L · 304L · 17-4 PH | Фітинги, кріплення, деталі клапанів | Видаляє вільне залізо, покращує стійкість до корозії |
| Тип II анодування | 6061-T6 · 6063-T5 | Корпуси камер, опорні плити, кронштейни | Ізоляційний корозійно-стійкий шар; колірні варіанти |
| Жорстке анодування (тип III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Зношуються поверхні, напрямні, частини робота | Твердий, зносостійкий-захисний шар |
| Безелектричне нікелювання | 6061-T6 · 7075-T6 · Сталь | Обладнання камери, частини технологічного набору | Рівномірний захист від зносу та корозії |
| Позолота | C10100 · C11000 · 6061-T6 | ВЧ-контакти, частини роз'єму | Низький контактний опір, захист від корозії |
| лудіння | C10100 · C11000 | Електропроводи, шини | Паяемость і захист від корозії |
| Бісероструминна обробка | 6061-T6 · 316L · Сталь | Корпуси, кришки, не-критичні поверхні | Рівномірне матове покриття (контрольований для вивільнення частинок) |
| Прибирання чистих приміщень | Всі матеріали | Усі деталі перед упаковкою | Багато{0}}ступеневе ультразвукове очищення, без масла, без залишків, з-контролем часток |
Контроль якості обробки напівпровідників з ЧПУ
Ми перевіряємо критичні розміри, посадку, площинність, биття та вимоги до поверхні протягом усього виробництва, щоб переконатися, що напівпровідникові деталі, оброблені з ЧПУ, відповідають кресленню. Для проектів, які вимагають документально підтвердженої якості, ми можемо надати сертифікати матеріалів, звіти про розміри та документацію щодо чистоти для підтримки вашої вхідної перевірки.
Перевірка матеріалу
Перевірка матеріалу
Перевірка розмірів
Перевірка GD&T
Перевірка різьби
Перевірка обробки поверхні
Остаточна перевірка
Перевірка упаковки
| Пункт перевірки | Обладнання / Метод | Типові напівпровідникові частини |
|---|---|---|
| Перевірка розмірів | ШМ · Штангенциркуль · Мікрометри | Габаритні розміри деталей |
| Діаметр отвору та валу | Калібр отвору · Штифтовий калібр · ШМ | Ротори насосів, штоки клапанів, арматура |
| Плоскість і паралельність | Поверхнева плита · ШМ | Ущільнювальні грані, охолоджувальні плити |
| Справжня позиція | ШМ | Шаблони отворів, газорозподільні пластини |
| Шорсткість поверхні | Тестер шорсткості | Ущільнювальні поверхні, контактні-пластинні поверхні |
| Перевірка різьби | Go/No-Go Thread Gauges | Фурнітура та кріплення |
| Перевірка матеріалу | Спектрометр + Сертифікат на матеріал | Вхідна сировина (доступна EN 10204 3.1; сертифікація VIM-VAR на запит) |
| Перевірка чистоти | Візуальна перевірка + перевірка частинок за запитом | Частини,-доставлені в чисті приміщення |
| Остаточна перевірка | ШМ + звіт про перевірку | Остаточне приймання розмірів |
Потрібен задокументований контроль якості?Надішліть нам свої креслення та вимоги до перевірки.
Прототип і мало{0}}об’ємна обробка з ЧПК для напівпровідників
Напівпровідникові проекти часто починаються з розробки прототипів - нових інструментів, розробки технологічного набору, оновлених частин або замінних компонентів, які необхідно перевірити перед виробництвом. Ми підтримуємопрототип і низька{0}}об’ємна обробка з ЧПУвід початкових зразків до повторних невеликих{0}}замовлень.
Обробка прототипу
Для розробки нових інструментів, перевірки процесу та змін дизайну.
Типова кількість:1–10 шт
Низькі-обсяги виробництва
Для пілотних систем, модернізації інструментів і початкових виробничих циклів.
Типова кількість:10–1,000+ шт
Повторне виробництво
Для запасних технологічних комплектів і регулярних замовлень зі встановленими конструкціями.
Типова кількість:Виходячи з вимог проекту
Підходить для
Вакуумна камера та обладнання для подачі газу
Компоненти обробки та затиску пластин
Деталі травлення, осадження та іонної імплантації
Радіочастотні, електричні та теплові елементи керування
Метрологічне та інспекційне обладнання
Запасні частини та технологічні комплекти для існуючих інструментів
Упаковка та час виконання напівпровідникових деталей з ЧПК
Упаковка
Індивідуальний захист:Поліетиленові пакети, піна або захисна плівка для оброблених поверхонь
Упаковка для чистих приміщень:Очищені частини подвійно-упаковані в чисті мішки (доступна опція-продувки азотом)
Дрібні частини:Розділені картонні коробки для запобігання подряпин і контакту-з-частинами
Точні деталі:Пінопластові вставки та окремі відсіки для важливих компонентів
Спеціальна упаковка:Номери деталей, етикетки, кількість і-спеціальні вимоги до пакування
Типовий час виконання
| Тип замовлення | Типовий час виконання |
|---|---|
| Прототип | 5–10 робочих днів |
| Замовлення малого-обсягу | 10–20 робочих днів |
| Замовлення на виробництво | 15–30 робочих днів |
| Повторити замовлення | 10–25 робочих днів |
FAQ
З: Які напівпровідникові деталі з ЧПК ви можете виготовляти?
Відповідь: Ми виробляємо спеціальні компоненти вакуумної камери, фланці та фітинги для газопроводів, газорозподільні пластини, затискачі та кільця для пластин, деталі рук робота, компоненти насосів і клапанів, деталі променів іонних імпланторів, радіочастотні компоненти, охолоджувальні пластини, радіатори та деталі технологічного комплекту для напівпровідникового обладнання.
З: Яких допусків на обробку з ЧПК ви можете досягти?
Відповідь: наш стандартний допуск для ЧПК зазвичай становить ±0,05 мм, з точністю обробки до ±0,02 мм і вибраними критичними характеристиками до ±0,005–0,01 мм, залежно від вимог до геометрії, матеріалу та креслень.
З: Чи можете ви поставити 316L VIM-VAR для вакуумних компонентів?
A: Так. Для над-високого-вакууму ми можемо обробити 316L VIM-VAR (вакуумна індукційна плавка та вакуумно-дугова переплавка) з низьким вмістом газу, що постачається з сертифікатом матеріалу. Електрополірування доступне для зменшення виділення газів і уловлювання частинок.
З: Чи пропонуєте ви прибирання та пакування-для чистих приміщень?
A: Так. Деталі можна багато-очистити ультразвуком, висушити та подвійно-пакувати в чисті мішки (продувка азотом необов’язкова), щоб уберегти поверхні від часток-для доставки в чисті приміщення.
Q: Чи можете ви надати сертифікати матеріалів та звіти про перевірку?
A: Так. Залежно від вимог проекту ми можемо надати сертифікати на матеріали (EN 10204 3.1, включаючи сертифікацію VIM-VAR), звіти про перевірку розмірів, звіти ШМ і записи про обробку поверхні.
З: Чи можна обробляти не-магнітні компоненти?
A: Так. Ми обробляємо не-магнітні марки, включаючи нержавіючу сталь 316L, титан 5 класу, алюміній 6061-T6 і PEEK для застосувань, де потрібно уникати магнетизму.
З: Яке покриття поверхні ви застосовуєте до напівпровідникових деталей?
Відповідь: Залежно від матеріалу та застосування, ми пропонуємо електрополірування, пасивацію, тверде анодування типу II та типу III, електрогальване нікелювання, золото та лудіння, дробеструйну обробку та очищення чистих приміщень.
З: Чи приймаєте ви 2D-креслення та файли CAD?
A: Ми можемо працювати зі звичайними файлами STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF і 2D.
З: Чи підтримуєте ви прототип і мало{0}}серійне виробництво?
A: Так. Ми підтримуємо кількість прототипів від 1–10 штук, мало{3}}серійне виробництво від 10–1,000+ штук, а також повторні замовлення на виробництво технологічних комплектів і запасних частин.
З: Який типовий час виготовлення напівпровідникових деталей з ЧПК?
A: Типовий час виконання становить 5–10 робочих днів для прототипів, 10–20 робочих днів для малих-замовлень і 15–30 робочих днів для виробничих замовлень, залежно від складності деталей, кількості, матеріалів і обробки.
Надішліть свій 2D-креслення або 3D-файл CAD, марку матеріалу, кількість, допуск і вимоги до обробки.
Популярні Мітки: напівпровідникові деталі з ЧПУ, Китай напівпровідникові деталі з ЧПУ, виробники, постачальники, фабрика, титан
Пара
НіНаступний
Морські деталі з ЧПУВам також може сподобатися
Послати повідомлення